发明名称 IMPIANTO DI TRATTAMENTO PER SUBSTRATI PIATTI
摘要
申请公布号 IT1316806(B1) 申请公布日期 2003.05.12
申请号 IT2000MI00564 申请日期 2000.03.17
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH 发明人 WENK KARL-HEINRICH
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址
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