雷射加工方法及雷射加工装置

摘要

提供一种能以良好效率加工具有较佳形状精确度之孔的雷射加工方法及雷射加工装置。将圆柱形透镜50a或/及圆柱形透镜50b配置于雷射束20之光轴上,用于补正镜片1a或/及镜片1b之反射面之变形,使雷射束20之X成份及Y成份之聚光位置和光轴方向成为一致。可以取代圆柱形透镜改用反射面为曲面之反射镜,作为使雷射束20之X成份及Y成份之聚光位置和光轴方向一致的方法,可设为使X成份及Y成份之两者调整为设计位置F a。亦可调整为一方不补正,另一方不补正。