微泵浦

摘要

一种微泵浦，包括一主壳体、一振荡膜片、一致动器和一凸块。其中，主壳体具有一腔室、一个输入口和一个输出口，并且振荡膜片组装在主壳体的腔室中。在振荡膜片上配置有致动器，其依据一电性讯号而产生振动，并驱动振荡膜片。特别的是，在振荡膜片上还配置凸块，可视为一个主动控制阀，该致动器与膜片达到平衡静止时，该凸块封住该流体入口，而当该致动器驱动该膜片伸张该腔室时，则该凸块离开该流体入口，致使该流体入口被开启，而驱动该膜片压缩该腔室时，则该凸块封住该流体入口，致使该流体入口被关闭。