分割された電極を有する電気機械システムデバイス

摘要

本開示は、電気機械システム（ＥＭＳ）デバイス内の可動層の安定的な移動位置の範囲を広げるためのシステムと、方法と、装置とを提供する。一態様では、電気的に絶縁された浮遊電極が、可動層の安定的な移動範囲を広げるために可動層内の駆動電極と固定電極との間に配置されることができる。電気的に絶縁された浮遊電極を複数の絶縁された電極セグメントに分割することによって、可動層の傾きに応じた不均衡な電荷の蓄積が、可動層の安定的な移動範囲をさらに広げるように強制されることができる。