发明名称 Einrichtung zur Erzielung einer bestimmten Temperatur von im Vakuumraum eines an der Pumpe arbeitenden Korpuskularstrahlapparates,insbesondere eines Elektronenmikroskops,befindlichen Teilen oder Objekten
摘要
申请公布号 DE1439348(A1) 申请公布日期 1968.11.21
申请号 DE19641439348 申请日期 1964.03.25
申请人 SIEMENS AG 发明人 KARL-HEINZ HERRMANN,DR.;WOLFRAM LOEBE,DIPL.-MATH.
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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