发明名称 An der Pumpe arbeitender Korpuskularstrahlapparat,insbesondere Elektronenmikroskop,mit gekuehlten Teilen zur Verringerung der Objektverschmutzung
摘要
申请公布号 DE1564653(A1) 申请公布日期 1970.02.12
申请号 DE19661564653 申请日期 1966.07.08
申请人 SIEMENS AG 发明人 WOLFRAM LOEBE,DIPL.-MATH.
分类号 H01J37/18;H01J37/20 主分类号 H01J37/18
代理机构 代理人
主权项
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