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发明名称
An der Pumpe arbeitender Korpuskularstrahlapparat,insbesondere Elektronenmikroskop,mit gekuehlten Teilen zur Verringerung der Objektverschmutzung
摘要
申请公布号
DE1564653(A1)
申请公布日期
1970.02.12
申请号
DE19661564653
申请日期
1966.07.08
申请人
SIEMENS AG
发明人
WOLFRAM LOEBE,DIPL.-MATH.
分类号
H01J37/18;H01J37/20
主分类号
H01J37/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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