| 发明名称 |
THIN FILM FORMING APPARATUS AND THIN FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08107072(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940240259 |
申请日期 |
1994.10.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NOGUCHI TOSHIHIKO;SAKAMOTO KENICHIRO;BANJO TOSHINOBU |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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