发明名称 DIFFRACTION OPTICAL ELEMENT AND OPTICAL AXIS ADJUSTING DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10339805(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970165068 申请日期 1997.06.06
申请人 CANON INC 发明人 MURAKAMI EIICHI
分类号 G01M11/00;G02B5/18;G02B7/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G01M11/00
代理机构 代理人
主权项
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