含有酮、醛共聚合物的酸分解性树脂组合物

摘要

本发明，通过加大曝光部和未曝光部的溶解度差，以提供用于高感度下高解像性的细微图形形成的光刻胶等中的组合物为目的。本发明涉及一种酸分解性组合物，特征在于包含具有式(I)表示的重复单元的聚合物以及酸或通过外部刺激产生酸的化合物。式中，R₁、R₂各自独立地表示氢原子、卤素原子、C1～C20的烃基、杂环基、氰基、硝基、C(＝O)R₄基、S(O)_nR₄基、P(＝O)(R₄)₂基、M(R₄)₃基；R₃表示C1～C20的烃基、杂环基；R₄表示C1～C20的烃氧基、C1～C20的烃基；C1～C20的烃硫基或者双C1～C20的烃氨基；M表示硅原子、锗原子、锡原子、铅原子；n表示0、1和2中的任意一个。

主权项

1.一种酸分解性组合物，其特征是：包含具有用式(I)表示的重复单元的聚合物以及酸或通过外部刺激产生酸的化合物：式中，R1、R2各自独立地表示氢原子、卤素原子、C1～C20的烃基、杂环基、氰基、硝基、C(＝O)R4基、S(O)nR4基、P(＝O)(R4)2基、M(R4)3基；R3表示C1～C20的烃基、杂环基；R4表示C1～C20的烃氧基、C1～C20的烃基；C1～C20的烃硫基或者双C1～C20的烃氨基；M表示硅原子、锗原子、锡原子、铅原子；n表示0、1和2中的任意一个。