发明名称 存储单元和用于制作存储器的方法
摘要 本发明涉及用于形成存储单元(1)的方法,该存储单元包括存储数字信息的有机存储层(10)。所述方法在于,对多晶和单晶半导体结构进行加工,在此期间,在施加有机存储层(10)之前所述结构受到高温。
申请公布号 CN100446183C 申请公布日期 2008.12.24
申请号 CN200480027575.7 申请日期 2004.07.21
申请人 因芬尼昂技术股份公司 发明人 M·昆德;T·米科拉吉克;C·-U·平诺
分类号 H01L21/28(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/8246(2006.01);H01L29/792(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L51/30(2006.01) 主分类号 H01L21/28(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余刚;李丙林
主权项 1.一种用于制作包括半导体结构并具有存储单元(1)的存储器件(2)的方法,其中数字信息存储在存储层(10)中,在该方法中:-在半导体衬底(17)中形成通过沟道区(4)互相隔开的两个源/漏区(5),-在所述半导体衬底(17)的衬底表面上,在所述沟道区(4)之上,制造栅极电介质(6),并且-在所述栅极电介质(6)上设置第一栅电极(7a),其中-在加工所述半导体结构结束之后,所述存储层(10)形成为设置在所述半导体结构之上的有机层,-在所述存储层(10)和所述第一栅电极(7a)之间提供导电连接(8),且-在所述存储层(10)之上设置绝缘体层(18),在所述绝缘体层(18)上设置第二栅电极(7b)。
地址 德国慕尼黑