一种高精度平面定位系统

摘要

本发明提出了一种高精度平面定位系统，包括底座、两X轴直线电机模块、Y轴直线电机模块和载盘座，两X轴直线电机模块对称设置在底座上，Y轴直线电机模块穿设载盘座，Y轴直线电机模块的第一端和第二端分别连接两X轴直线电机模块；Y轴直线电机模块包括滑轨安装板、第一滑轨、磁铁、第一电机动子和第二电机动子，滑轨安装板通过第一滑轨与载盘座连接，第一电机动子和第二电机动子设置在载盘座内，滑轨安装板的两侧分别通过磁铁卡设第一电机动子和第二电机动子。Y轴直线电机模块采用双电机与滑轨安装板一体式设计，使变形匀称，提高载盘座的平面度，防止滑轨安装板因不对称变形而出现卡死现象。

主权项

PCT国内申请，权利要求书已公开。