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发明名称 Verfahren zur Herstellung duenner Schichten
摘要
申请公布号 DE1515293(A1) 申请公布日期 1969.06.19
申请号 DE19641515293 申请日期 1964.08.22
申请人 BALZERS AG FUER HOCHVAKUUMTECHNIK UND DUENNE SCHICHTEN;SIEMENS AG 发明人 FRANCOIS GAYDOU,DR.;ADOLF TRENDELENBURG,DR. ERNST;HEINZ FROEHLICH,DR.
分类号 C23C14/22;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/305;H01J37/34 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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