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发明名称
Anordnung zum Behandeln von Halbleiterkoerpern od.dgl.mit Hilfe von Ultraschall
摘要
申请公布号
DE1521946(A1)
申请公布日期
1969.12.11
申请号
DE19611521946
申请日期
1961.07.22
申请人
SIEMENS AG
发明人
SCHMIDT,OTTO
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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