发明名称 METAL-INSULATOR FILMS FOR SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 US3567509(A) 申请公布日期 1971.03.02
申请号 USD3567509 申请日期 1968.02.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 LUBERTUS L. KUIPER
分类号 H01L21/00;H01L21/285;H01L23/29;H01L23/485;(IPC1-7):H01L9/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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