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发明名称
PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5240059(A)
申请公布日期
1977.03.28
申请号
JP19750115884
申请日期
1975.09.25
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TANIGAWA EIKI
分类号
C30B31/02;H01L21/22;H01L21/263
主分类号
C30B31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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