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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH04294559(A) 申请公布日期 1992.10.19
申请号 JP19910105026 申请日期 1991.03.22
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOIKE HISASHI;MASUOKA NOBORU
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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