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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06252269(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930033649 申请日期 1993.02.23
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KASUYA YOSHIKAZU
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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