发明名称 Optical inspection device for substrates
摘要
申请公布号 EP1662251(A3) 申请公布日期 2006.06.14
申请号 EP20050001640 申请日期 2005.01.27
申请人 STRATUS VISION GMBH 发明人 STENGER, HEINRICH
分类号 G01R31/308;G01N21/956;G01R31/309 主分类号 G01R31/308
代理机构 代理人
主权项
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