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发明名称 Improvements relating to Micro-machining
摘要
申请公布号 EP1808672(A3) 申请公布日期 2009.06.17
申请号 EP20070004839 申请日期 1999.09.13
申请人 QINETIQ LIMITED 发明人 MCNIE, MARK EDWARD;VISHAL, NAYAR
分类号 G01C19/16;G01C19/56;H01L29/84 主分类号 G01C19/16
代理机构 代理人
主权项
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