发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR IMPLANTER DES IONS DANS UNE CIBLE
摘要 <P>SUIVANT CE PROCEDE POUR IMPLANTER DES IONS DANS UNE CIBLE, UN FAISCEAU D'IONS EST DIRIGE VERS CELLE-CI A L'AIDE D'UN SYSTEME DE DEVIATION ELECTRO-STATIQUE, ET SUR LADITE CIBLE, CE FAISCEAU DECRIT UNE CONFIGURATION EN FONCTION DE LA VARIATION DE LA TENSION APPLIQUEE A DEUX JEUX ORTHOGONAUX DE PLAQUES DE DEVIATION. UN JEU DE PLAQUES RECOIT UNE DIFFERENCE DE TENSION VARIABLE TANDIS QUE L'AUTRE JEU RECOIT UNE DIFFERENCE DE TENSION CONSTANTE, DE SORTE QUE LE FAISCEAU DECRIT UNE LIGNE DROITE SUR LA CIBLE, TANDIS QU'A LA FIN DE LA COURSE DU FAISCEAU, LA DIFFERENCE DE TENSION CONSTANTE DUDIT AUTRE JEU EST AUGMENTEE D'UNE TENSION INVARIABLE CEPENDANT QUE LA VARIATION DE LA DIFFERENCE DE TENSION VARIABLE DU JEU CITE EN PREMIER LIEU EST INVERSEE, DE SORTE QUE LES LIGNES SUCCESSIVES DECRITES PAR LE FAISCEAU SUR LA CIBLE SONT TOUJOURS PARALLELES ET EQUIDISTANTES.</P><P>APPLICATION A LA REALISATION D'APPAREILS D'IMPLANTATION D'IONS.</P>
申请公布号 FR2425721(A1) 申请公布日期 1979.12.07
申请号 FR19790012055 申请日期 1979.05.11
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN NV 发明人
分类号 H01J37/24;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30;H01L21/26 主分类号 H01J37/24
代理机构 代理人
主权项
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