| 发明名称 |
INRICHTING EN WERKWIJZE VOOR HET INSTELLEN MET BEHULP VAN HOGE RESOLUTIE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7903676(A) |
申请公布日期 |
1979.12.07 |
| 申请号 |
NL19790003676 |
申请日期 |
1979.05.10 |
| 申请人 |
ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION TE EL SEGUNDO, CALIFORNIEE, VER.ST.V.AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/30;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):01L21/70 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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