发明名称 VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05331629(A) 申请公布日期 1993.12.14
申请号 JP19920137093 申请日期 1992.05.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKAMURA SHIGERU
分类号 C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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