| 发明名称 |
BOAT FOR CONVEYING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0028266(A4) |
申请公布日期 |
1981.08.27 |
| 申请号 |
EP19800900836 |
申请日期 |
1980.12.01 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
SHIMODA, HARUO;TANABE, KAORU |
| 分类号 |
H01L21/22;C30B31/10;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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