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经营范围
发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Dünnschichtdickenmessung
摘要
申请公布号
DE69317736(T2)
申请公布日期
1998.07.30
申请号
DE19936017736T
申请日期
1993.12.09
申请人
IPEC PRECISION, INC., BETHEL, CONN., US
发明人
LEDGER, ANTHONY M., NEW FAIRFIELD, CONNECTICUT 06812, US
分类号
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
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