| 发明名称 | Chamber of charged particle beam drawing apparatus | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | USD759603(S1) | 申请公布日期 | 2016.06.21 |
| 申请号 | US201529514862F | 申请日期 | 2015.01.16 |
| 申请人 | NuFlare Technology, Inc. | 发明人 | Saito Hiroyasu;Nakagawa Yoshinori;Nakazawa Seiichi |
| 分类号 | 13-03 | 主分类号 | 13-03 |
| 代理机构 | Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P | 代理人 | Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P |
| 主权项 | The ornamental design for a chamber of charged particle beam drawing apparatus, as shown and described. | ||
| 地址 | Yokohama JP | ||