SUBSTRATE INCLUDING GALLIUM NITRIDE LAYER AND PROCESS FOR MANUFACTURING SAME

摘要

질화갈륨층을 갖는 기판에 있어서, 질화갈륨층의 표면 처리 후의 표면 손상을 저감하여, 그 위에 형성하는 기능 소자의 품질을 개선한다. 적어도 질화갈륨층을 갖는 기판(4)을 제공한다. 유도 결합식 플라즈마 발생 장치를 구비한 플라즈마 에칭 장치를 이용하며, 규격화된 직류 바이어스 전위를 -10 V/㎠ 이상으로 하여 불소계 가스를 도입하여, 질화갈륨층(3)의 표면(3a)을 드라이 에칭 처리한다.