| 摘要 |
【課題】 信頼性が向上した流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置を提供する。【解決手段】 第１壁部１と、第２壁部２と、第１壁部１と第２壁部２との間に設けられた第３壁部３とを備え、第１壁部１と第２壁部２と第３壁部３とで構成された内部が、流体が流れる流路としてなり、第１壁部１から第２壁部２にわたって切断したときの切断面に、流路の流路口４が一方方向に並んで複数設けられており隣り合う流路口４のうち一方が他方よりも第１壁部１側または第２壁部２側にずれて配置されていることから、隣接する流路口のコーナー間での応力集中を緩和でき、流路が破損しにくく、信頼性の向上した流路部材10とすることができる。【選択図】 図１ |
