| 发明名称 |
MEASUREMENT OF CARRIER CONCENTRATION OF SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3623818(A) |
申请公布日期 |
1971.11.30 |
| 申请号 |
USD3623818 |
申请日期 |
1969.12.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
EDWARD E. GARDNER;WILLIAM A. KEENAN;PAUL A. SCHUMANN JR. |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/21;G01N21/55;G01N21/84;G01R31/26;(IPC1-7):G01N21/48;G01T1/16 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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