| 发明名称 |
INRICHTING EN WERKWIJZE VOOR EEN MET GAS ONDERSTEUNDE, VAST-OP-VAST WARMTEOVERDRACHT BIJ EEN HALFGELEIDERSCHIJFJE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL8301847(A) |
申请公布日期 |
1983.12.16 |
| 申请号 |
NL19830001847 |
申请日期 |
1983.05.25 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC. TE PALO ALTO, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;H01L23/46 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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