发明名称 VAPOR PHASE GROWTH PROCESS
摘要
申请公布号 JPS6131394(A) 申请公布日期 1986.02.13
申请号 JP19840154353 申请日期 1984.07.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGURA MOTOTSUGU;BAN YUZABURO;MORIZAKI MOTOJI;HASE NOBUYASU
分类号 C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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