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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0372650(A)
申请公布日期
1991.03.27
申请号
JP19890208532
申请日期
1989.08.11
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD
发明人
SAKAMOTO SHINJI;KATO KAORU;HONDA YOSHIAKI;ARAKAWA MASAO
分类号
H01L21/761;H01L21/76
主分类号
H01L21/761
代理机构
代理人
主权项
地址
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