发明名称 INTEGRATED CIRCUIT HAVING DUMMY STRUCTURES AND METHOD OF FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH1092921(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19970237832 申请日期 1997.08.20
申请人 MOTOROLA INC 发明人 GILBERT PERCY V;IYER SUBRAMONEY;SMITH BRADLEY P;THOMPSON MATTHEW A;KEMP KEVIN;DHAR RAJIVE
分类号 H01L21/76;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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