发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT HAVING DUMMY STRUCTURES AND METHOD OF FORMING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1092921(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
申请号 |
JP19970237832 |
申请日期 |
1997.08.20 |
申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
GILBERT PERCY V;IYER SUBRAMONEY;SMITH BRADLEY P;THOMPSON MATTHEW A;KEMP KEVIN;DHAR RAJIVE |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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