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发明名称
摘要
申请公布号	JP3285320(B2)	申请公布日期	2002.05.27
申请号	JP19980032794	申请日期	1998.02.16
申请人		发明人
分类号	G01B7/00;G01B21/00;H01L41/08;(IPC1-7):G01B7/00	主分类号	G01B7/00
代理机构		代理人
主权项
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