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发明名称 INTEGRATED CIRCUITS AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 US3458368(A) 申请公布日期 1969.07.29
申请号 USD3458368 申请日期 1966.05.23
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 ROLF R. HABERECHT
分类号 C23C8/00;H01L21/00;H01L21/263;H01L21/8222;(IPC1-7):H01L7/36 主分类号 C23C8/00
代理机构 代理人
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