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发明名称
摘要
申请公布号
AU3807768(A)
申请公布日期
1969.11.27
申请号
AU19680038077
申请日期
1968.05.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/318
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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