| 发明名称 |
MANUFACTURE OF HETERO STRUCTURE FIELD EFFECT TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02183542(A) |
申请公布日期 |
1990.07.18 |
| 申请号 |
JP19890001964 |
申请日期 |
1989.01.10 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
FUJISHIRO HIRONORI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/338;H01L27/095;H01L29/778;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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