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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69317800(T2) 申请公布日期 1998.09.03
申请号 DE1993617800T 申请日期 1993.01.27
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 INOUE, SHUNSUKE, SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;MIYAWAKI, MAMORU, SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;KOHCHI, TETSUNOBU, SHIMOMARUKO, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号 H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/06;H01L21/82;H01L29/772 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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