| 发明名称 |
Mems resonators and methods for manufacturing mems resonators |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002258696(A1) |
申请公布日期 |
2002.10.21 |
| 申请号 |
AU20020258696 |
申请日期 |
2002.04.02 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
KENNETH D. CORNETT;FENG NIU |
| 分类号 |
H03H3/007;(IPC1-7):H03H9/24 |
主分类号 |
H03H3/007 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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