接触式温度探测器和制造方法

摘要

一种供测量处在加工环境中的基质的温度用的接触式温度测量探测器，它包括一个探测头，该探测头具有一个用来接触基质的由陶瓷材料或高分子材料制成的接触面，这接触式温度测量探测器消除了在含有离子源的加工环境中产生的电偏压的影响，由此能提供具有较高精度和可重复的温度测量结果。

主权项

1.一种供测量处在加工环境中的基质的温度用的接触式温度测量探测器，它包括：一个探测头，该探测头具有一个用来接触基质的，由陶瓷材料制成的接触面；和一个带有引线的温度传感器，这些引线来自探测头并穿过用来将这些引线与加工环境隔开的隔离屏，其中探测头仅靠温度传感器引线支承，且隔离屏不与探测头接触。