具有多入口之化学汽相沈积反应器

摘要

本发明揭示一种化学气相沉积反应器，该化学气相沉积反应器具有：一晶圆载具，该晶圆载具与该反应器之一室协作，以促进该室中反应气体之层流(laminar flow)；及复数个注入器，该等注入器组态于流量可控制区域中以减轻耗尽。