用于离子束植入器之脐带线设备连接

摘要

本发明揭示一种离子束植入器，其包括离子束源，用以产生沿着一束线运动的离子束，以及一个真空或是植入腔体，在其中一个工件放置于与离子束相交的位置，以离子束进行工件表面的离子植入。离子束植入器进一步包括耦合于植入腔体且支撑工件的一个工件支撑架构。工件支撑架构包括一个夹盘，其包括用来支撑工件的可旋转基座。工件支撑架构进一步包括第一可旋转滚动条，其耦合于并且与基座一起旋转，以及一个可弯曲空心线，其运送设备例如冷却剂线以及耦合于第一可旋转滚动条的电力导体，因此当基座以第一方向旋转时，可弯曲线包住第一滚动条的长度增加，当基座以相反方向旋转时，可弯曲线包住第一滚动条的长度减少。

主权项

1.一种离子束植入器，其包括：a)用来产生沿着一条束线移动之离子束的离子束源；b)一个具有真空内部区域的植入腔体，其中工件定位于与离子束相交的位置，经由离子束进行工件植入表面的离子植入；以及c)耦合于植入腔体并且支撑工件的工件支撑架构，该工件支撑架构包括：1)用来固定工件的夹盘，该夹盘包括一个支撑工件的可旋转基座；2)一个耦合至基座并且对基座可旋转的可旋转第一滚动条；3)一条耦合于第一可旋转滚动条的可弯曲空心线，其耦合方式使当基座在一个第一方向旋转时，该可弯曲线包住第一滚动条的长度增加，并且当基座在一个相反的方向旋转时，该可弯曲线包住第一滚动条的长度减少；4)设备包括至少一个运送冷却剂到夹盘的冷却剂线路，以及一个电力导体以将电力或是控制信号传导到夹盘，冷却剂线以及电力导体其中至少一者的至少一部分穿过线的内部安排路线。