发明名称 LOAD BOARD FOR LSI TESTER
摘要
申请公布号 JPH0854438(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940191687 申请日期 1994.08.16
申请人 NEC ENG LTD 发明人 HOSOKAWA HIROSHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址