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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH11102891(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970263443 申请日期 1997.09.29
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 IZEKI IZURU
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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