| 摘要 |
<p>본 발명은 웨이퍼의 형성된 다수개의 반도체메모리 칩을 동시에 검사할 수 있도록 한 웨이퍼의 다칩 검사용 프로브 카드에 관한 것이다. 본 프로브 카드는 접촉첨부와 완충부와 탐침본체와 고정핀을 순차적으로 형성된 박판탐침과; 하방을 향하는 다수 개의 상기 박판탐침을 상기 웨이퍼에 형성된 다수개의 반도체메모리 중 어느 하나에 대응하도록 한 복수 개의 탐침그룹이 메트릭스 형상으로 배열되어 있는 탐침플레이터와; 상기 탐침플레이터의 상측에 형성되어 외부로부터 상기 반도체 메모리를 향하여 테스터신호를 공급하는 원반형 PCB기판과; 상기 PCB기판 상부의 일 측에 형성되어 외부로부터 가해지는 압력을 균일하게 분산시키는 보강판과; 상기 보강판과 일체형으로 결합되어 있으며, 상기 PCB기판 하부와 상기 탐침플레이터의 연부에 형성되어 있는 커버와; 상기 PCB기판과 상기 탐침플레이터 사이에 위치하며, 상기 탐침플레이터를 향하여 상기 테스터신호를 인가하는 와이어와, 이들간에 소정의 이격 간격을 유지하는 스페이스를 포함한다. 이에 따라, 웨이퍼에 형성된 거의 전체의 반도체메모리를 동시에 테스트하기 때문에 테스터에 따른 공정시간이 거의 요구되지 않아 생산성을 극대화시킬 수 있다.</p> |
