利用高速控制光闸开关之线扫描曝光技术以产生彩色滤光片之方法与装置

摘要

本发明揭露一种产生彩色滤光片之方法和装置，其系利用一能产生复数个曝光光源之曝光扫描装置，藉由高速控制此复数个曝光光源之开关时间，以及使该复数个曝光光源和一基板间产生一相对运动，以对基板上之一着色光阻层进行曝光制程，其中此复数个曝光光源之开关时间系分别由复数个光闸开关所控制；接着，对曝光后之着色光阻层进行显影制程，以形成一颜色画素着色层；重复上述步骤即可产生所需之多种颜色画素着色层于此基板上。本发明之特点在于曝光制程中，其不需使用到光罩，且透过此曝光扫描装置之相关操作，将可处理不同大小、规格之基板。