二段式深沟渠制造方法

摘要

二阶段式制造深沟渠之方法包含，进行第一阶段之蚀刻步骤，以去除一部份之基底后形成一沟渠至一第一预定深度。接着，以热氧化方式加热该基底，以形成一氧化薄膜于该沟渠侧壁上。最后，再进行第二阶段之蚀刻步骤，其系去除该沟渠下方之部份该基底，以形成一深沟渠至一第二预定深度。