| 发明名称 |
FINE STRUCTURE OBSERVATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0684493(A) |
申请公布日期 |
1994.03.25 |
| 申请号 |
JP19920125582 |
申请日期 |
1992.04.17 |
| 申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
TAJIMA ICHIRO;SUDA AKIHIKO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/305;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/20 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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