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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07130590(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930081218 申请日期 1993.03.16
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD;NAGANO DENSHI KOGYO KK 发明人 ABE TAKAO;NAKAZATO YASUAKI;UCHIYAMA ATSUO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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