发明名称 冷却吸附装置
摘要 一种冷却吸附装置,包括箱体及立体冷凝管。箱体具有容置空间,立体冷凝管设置于容置空间内。立体冷凝管系由一第一S形管及一第二S形管交错一角度形成,第一S形管连通第二S形管。废气系通过容置空间,废气由立体冷凝管冷凝产生粉末沈积于容置空间内。
申请公布号 TW200735954 申请公布日期 2007.10.01
申请号 TW095110570 申请日期 2006.03.27
申请人 奇美电子股份有限公司 发明人 栾益昌
分类号 B01D53/02(2006.01);H01L21/205(2006.01) 主分类号 B01D53/02(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 台南县新市乡台南科学工业园区奇业路1号