| 摘要 |
본 발명은 수지제의 필름(20)에 레이저 광(L)을 조사하여 평면에서 보았을 때 다각형인 개구 패턴(4)을 형성하는 성막 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 레이저 광이 투과하는 투광창(18)을 가지고, 이 투광창(18)의 외측에서, 이 투광창(18)의 적어도 한 대변의 측방 영역에서의 광 투과율을 상기 투광창의 가장자리부로부터 측방을 향하여 점차 감소시킨 빔 정형용 마스크(10)를 사용하여 정형된 레이저 광(L)을 상기 필름(20)에 조사하여 개구가 상기 필름(20)의 상기 레이저 광(L)의 조사면과는 반대측으로부터 상기 조사면측을 향하여 넓어지도록 경사진 적어도 한 쌍의 대향 측벽(4a)을 가진 개구 패턴(4)을 형성하는 것이다. |
